T. S. V. Nguyen, T. M. Huynh, T. D. To, et al.
摘要
银/银氯化物（Ag/AgCl ）通常用作电化学测量中的参考电极。但是，商业宏观Ag/AgCl 电极不能用于微电化学传感器中。因此，许多科学家试图将参考电极微型化以整合到一个传感器芯片中。在本文中，引入了一种新方法，用于制造涂有琼脂糖凝胶作为电位计量传感器的平面参考电极涂层的Ag/AgCl薄膜。通过光刻和提升技术将220-250 nm的银色薄膜溅射并在二氧化硅/硅底物上图案。通过在真空中使用Ag[NH3]2CL复合物在AG膜上涂覆AgCl层。 AgCl层的厚度约为5 µm。然后将Ag/AgCl层用琼脂糖凝胶覆盖。 AgCl层的特征是X射线衍射，微拉曼光谱和扫描电子显微镜。与商业Ag/AgCl 电极相比，用pH 7缓冲溶液中的参考电极作为参考电极作为参考电极的开路电势（OCP）测量。制造的Ag/AgCl电极与商业Ag/AgCl电极之间的电势差并不重要。琼脂糖层作为Ag/AgCl电极的保护层的涂层增强了修饰电极的耐用性。结果表明，涂有琼脂糖凝胶的制造的Ag/AgCl薄膜可以用作电位测量传感器的平面参考电极。